NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。
VT6000自動(dòng)三維共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和優(yōu)異的3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖高分辨率鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其抗振設(shè)計(jì),在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。
CEM3000一鍵臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其操作系統(tǒng)簡便,樣品一鍵裝入,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
NS系列微納樣品臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量。
CEM3000系列高易用性臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,操作系統(tǒng)簡便,樣品一鍵裝入,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
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